InVue® GV148 液體濃度監(jiān)測(cè)器

集成一體的實(shí)時(shí)過程監(jiān)控系統(tǒng)

InVue®GV148液體濃度監(jiān)控器可以實(shí)時(shí)提供測(cè)量過程流體的濃度，用于化學(xué)混合、提升濃度和稀釋，無需中斷過程檢測(cè)。

InVue®GV148液體濃度監(jiān)控器集成在一個(gè)小型密封外殼中，可提供性價(jià)比高的濃度監(jiān)測(cè)，使前端（FEOL）、后端（BEOL）和工廠生產(chǎn)系統(tǒng)的工藝效率提高。這種工藝可以使過程控制更為嚴(yán)格， 從而提高工藝效率，減少成本投入，也減少?gòu)U料的產(chǎn)生。

用戶軟件強(qiáng)大

采用基于Windows®的HMI軟件應(yīng)用程序來支持 GV148配置和實(shí)時(shí)監(jiān)控。該軟件允許用戶:

·獲得實(shí)時(shí)折射率、流體溫度和濃度信息

·自定義折射率以及濃度切換

·獲取和分析化學(xué)品特定溫度補(bǔ)償?shù)臄?shù)據(jù)

·傳感器平衡操作

·查看當(dāng)前警告信息、系統(tǒng)事件和警告歷史信息

·折射率歸零 

·配置模擬輸出

經(jīng)過驗(yàn)證的折射率檢測(cè)技術(shù)

GV148監(jiān)測(cè)儀采用經(jīng)過驗(yàn)證的折射率檢測(cè)技術(shù)，外觀小巧，可提供準(zhǔn)確、安全和可重復(fù)的液體濃度測(cè)量方法。在線傳感器可精確測(cè)量過程流體的折射率（IoR）和溫度。然后，我們將利用這些信息 來計(jì)算工藝中液體的濃度。

工作原理

使用折射率技術(shù)，當(dāng)光從平面玻璃或液體表面反 射到光電二極管檢測(cè)器（PDA）時(shí)，InVue®GV148 濃度監(jiān)測(cè)器開始工作。反射角是由液體與窗口之 間的折射率比決定的。定制的算法可以檢測(cè)反射 光強(qiáng)度的微小變化。這種可以反射幾何形狀的能 力和小型化設(shè)計(jì)是InVue®GV148的重大特點(diǎn)。

應(yīng)用領(lǐng)域

·H2 O2 溶液混合

·研磨液稀釋

·專有添加劑混合

·全球和本地循環(huán)監(jiān)控

·批量溶液混合監(jiān)控

·容器壽命檢測(cè)

·CMP后清潔溶液混合

功能與優(yōu)勢(shì)

*配備適當(dāng)?shù)拈y門和控制器

功能與優(yōu)勢(shì)

*親水性的組件

**對(duì)于折射率超出此范圍的流體，請(qǐng)聯(lián)系奧法美嘉

配置

訂購(gòu)須知

InVue GV148液體濃度監(jiān)測(cè)器：配件號(hào)